Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание автоматизированной установки под названием «Лучник», предназначенной для измерения рассовмещения топологических слоев. Стоимость контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование играет ключевую роль в производственном процессе микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев на кремниевые пластины. В рамках проекта планируется разработать отечественный аналог установки ARCHER 10 XT компании KLA Tencor.
Установка «Лучник» будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, обеспечивая точность наложения слоев до 130 нм и производительность не менее 75 пластин в час. В её конструкции будут использоваться интерферометры и алгоритмы машинного зрения для мгновенной коррекции процессов. Разработка установки требует высокоточной механики, продвинутой оптики и сложного программного обеспечения, с необходимостью перемещения предметного столика с нанометровой точностью. Завершить работы планируется до июля 2029 года.
Завод «Микрон» одновременно выступает как разработчик и заказчик, что обеспечивает возможность тестирования прототипов в реальных условиях на действующей производственной линии, значительно повышая шансы на успешную реализацию проекта «Лучник».