Литографические сканеры не являются единственным оборудованием, необходимым для производства полупроводников. Хотя передовые технологии EUV остаются недоступными для китайских инженеров, более доступные технологии всё чаще реализуются с использованием местной разработки. В 2022 году доля отечественного оборудования в Китае достигла 35 %, превысив запланированные 30 % к 2025 году.
Согласно данным TrendForce, в 2024 году этот показатель составлял всего 25 %. В сегменте оборудования для травления и нанесения покрытий доля китайских изделий превысила 40 %. Образец оборудования для травления 5-нм чипов сейчас проходит валидацию на производственной линии TSMC.
Технологические печи Naura составляют более 60 % оборудования, используемого SMIC для 28-нм чипов. В то же время, в области контрольно-измерительных машин и литографических сканеров уровень импортозамещения остаётся низким — 25 % и 18 % соответственно. Однако, за последний год спрос на китайское оборудование увеличился на 80 %, а власти требуют, чтобы новые линии оснащались местным оборудованием как минимум на 50 %. Субсидирование закупок отечественного оборудования также способствует развитию отрасли.