Литографические системы ASML, известные своей ролью в производстве полупроводников, нашли неожиданное применение благодаря компании IMEC. Теперь эти дорогие машины могут использоваться для создания нанопор — крошечных отверстий диаметром от нескольких до десятков нанометров. Топ-менеджер ASML привёл в пример, что нанопоры в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Эти поры открывают новые возможности в биомедицине, включая секвенирование ДНК и разработку биомедицинских датчиков. Команда IMEC разработала метод массового производства таких нанопор с помощью литографии EUV, что позволяет создавать точные и однородные массивы на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Презентация этого достижения на Международной конференции по электронным устройствам IEEE 2025 может привести к революции в диагностике, геномике и персонализированной медицине, делая медицинские тесты более доступными и эффективными.